專注高端精密劃片機
研發(fā)、生產(chǎn)、咨詢、銷售
晶圓劃片機主要用于半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、LED芯片、太陽能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn),將晶圓或器件沿切割道方向進行切割或開槽。
晶圓劃片機主要用于半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、LED芯片、太陽能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn),將晶圓或器件沿切割道方向進行切割或開槽。
產(chǎn)品介紹:
● 1.8KW(2.4KW可選) 大功率直流主軸
● 高剛性龍門式結(jié)構(gòu)
● T軸旋轉(zhuǎn)軸采用DD馬達
● 進口超高精密級滾柱型導(dǎo)軌
● 進口超高精密滾珠型絲桿
● CCD雙鏡頭自動影像系統(tǒng)
● 友好人機交互界面
● 瑞士進口滾柱導(dǎo)軌,精度高,耐用性久,穩(wěn)定性高,超高直線度,實測0.9μm
● 采用進口研磨級超高精密滾珠絲杠,定位精度可達2μm全行程
● 自動對焦功能,具有CSP切割功能,具有 在線刀痕檢測功能
● NCS非接觸測高,BBD刀破損檢測,自動修磨法蘭功能
● 工件形狀識別功能,更加友好人機界面
● 自動化程序著提升
● 滿足各種加工工藝需求
產(chǎn)品參數(shù):
項目 | 產(chǎn)品型號 | BJX3356晶圓劃片機 |
加工尺寸 | ≥?305mm/280mm×280mm | |
X軸 | 最大速度 | 600mm/s |
直線度 | 2μm全行程 | |
Y軸 | 有效行程 | 450 |
定位精度 | 2μm全行程 | |
分辨率 | 0.1μm | |
Z軸 | 有效行程 | 40mm |
單步步盡量 | 0.0001mm | |
最大刀輪直徑 | 60或定制 | |
T軸 | 轉(zhuǎn)動角度范圍 | 380 |
主軸 | 最大轉(zhuǎn)速 | 60000rpm |
額定輸出功率 | 直流1.8KW/2.4KW | |
基礎(chǔ)規(guī)格 | 電源 | 220V/50Hz |
壓縮空氣 | 0.5-0.6Mpa、Max220L/min | |
切削水 | 0.2-0.3Mpa、Max 4L/min | |
排風流量 | 3m3/min | |
尺寸(mm) | 1080×1181×1810 | |
重量 | 1250KG |
應(yīng)用領(lǐng)域:
IC、QFN、DFN、LED基板、光通訊等行業(yè)
可切材料:
硅片、陶瓷、玻璃、氧化鋁、PCB、氮化鋁、鈮酸鋰、石英等
配件耗材:
樣品展示:
LX3356型晶圓切割機為12英寸全自動動精密劃片機,采用高精密進口主要配件,T軸采用DD馬達,重復(fù)精度1μm,穩(wěn)定性極強,兼容6"-12"材料,雙CCD視覺系統(tǒng),性能達到業(yè)界一流水平
使用環(huán)境要求:
1.請使用大氣壓水汽結(jié)露點-15℃,油殘存不大于0.1ppm,過濾度0.01μm/99.5%以上的潔凈壓縮空氣
2.請將切削水及冷卻水的水溫為室溫±2℃,水溫控制在室溫波動范圍±1℃
3.避免把設(shè)備放置在有震動的工作環(huán)境工作,遠離鼓風機、通風口、高溫裝置、油污等環(huán)境
4.室內(nèi)溫度20-25℃,溫度變化不大于±1℃
5.工廠具有防水性底板
138-2371-2890